臭氧的產(chǎn)生機(jī)理：

　　雖然有若干機(jī)理可能同電暈內(nèi)臭氧的形成有關(guān)，但 ① 式特殊反應(yīng)途徑被認(rèn)為是主要的

e+O2 →2O ＋ e        ①

利用高速電子轟擊氧氣，其分解成氧原子。高速電子具有足夠的動(dòng)能（ 6～7eV ） ,緊接著通過(guò)三體碰撞反應(yīng)形成臭氧。

O+O2 +M→O3 ＋ M      ②

式中 M是氣體中任何其它氣體分子，不過(guò)與此同時(shí)，原子氧和電子也同樣同臭氧反應(yīng)形成氧氣。

O+O3 →2O2           ③

e+O3 →O+O2 +e       ④ 　　此外，電暈內(nèi)的氣體是處于可促進(jìn)臭氧分解反應(yīng)的高溫下，所以凈臭氧產(chǎn)量或出口產(chǎn)氣組成是形成和分解臭氧所有反應(yīng)的總和。凈產(chǎn)率依眾多因素而變，包括：原料氣的氧氣含量和溫度、原料氣含的污染物、達(dá)到的臭氧濃度、電暈中的功率密度、冷卻劑的溫度和流量及冷卻系統(tǒng)的效率。這些因素都影響著實(shí)用的、經(jīng)濟(jì)上有吸引力的臭氧發(fā)生器和系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。